Abstract

High resolution metrology of beam profiles is presently a major challenge at X-ray free electron lasers. We demonstrate a characterization method based on beam imprints in poly (methyl methacrylate). By immersing the imprints formed at 47.8 eV into organic solvents, the regions exposed to the beam are removed similar to resist development in grayscale lithography. This allows for extending the sensitivity of the method by more than an order of magnitude compared to the established analysis of imprints created solely by ablation. Applying the Beer-Lambert law for absorption, the intensity distribution in a micron-sized focus can be reconstructed from one single shot with a high dynamic range, exceeding 103. The procedure described here allows for beam characterization at free electron lasers revealing even faint beam tails, which are not accessible when using ablation imprint methods. We demonstrate the greatly extended dynamic range on developed imprints taken in focus of conventional Fresnel zone plates and spiral zone plates producing beams with a topological charge.

© 2017 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau
Opt. Express 15(10) 6036-6043 (2007)

Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators

Tomáš Burian, Věra Hájková, Jaromír Chalupský, Luděk Vyšín, Pavel Boháček, Martin Přeček, Jan Wild, Cigdem Özkan, Nicola Coppola, Shafagh Dastjani Farahani, Joachim Schulz, Harald Sinn, Thomas Tschentscher, Jérôme Gaudin, Saša Bajt, Kai Tiedtke, Sven Toleikis, Henry N. Chapman, Rolf A. Loch, Marek Jurek, Ryszard Sobierajski, Jacek Krzywinski, Stefan Moeller, Marion Harmand, Germano Galasso, Mitsuru Nagasono, Karel Saskl, Pavol Sovák, and Libor Juha
Opt. Mater. Express 5(2) 254-264 (2015)

A Bragg beam splitter for hard x-ray free-electron lasers

Taito Osaka, Makina Yabashi, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Yuichi Inubushi, Takahiro Sato, Satoshi Matsuyama, Tetsuya Ishikawa, and Kazuto Yamauchi
Opt. Express 21(3) 2823-2831 (2013)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. M. Liu, “Simple technique for measurements of pulsed Gaussian-beam spot sizes,” Opt. Lett. 7(5), 196–198 (1982).
    [PubMed]
  2. J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
    [PubMed]
  3. J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
    [PubMed]
  4. J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
    [PubMed]
  5. T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).
  6. C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
    [PubMed]
  7. J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).
  8. A. Beer, “Bestimmung der Absorption des rothen Lichtes in farbigen Flüssigkeiten,” Annalen der Physik und Chemie 86, 78–88 (1852).
  9. N. Arnold and N. Bityurin, “Model for laser-induced thermal degradation and ablation of polymers,” Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. 68, 615–625 (1999).
  10. T. Lippert and J. T. Dickinson, “Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions,” Chem. Rev. 103(2), 453–486 (2003).
    [PubMed]
  11. L. Urech and T. Lippert, “Photoablation of Polymer Materials,” in Photochemistry and Photophysics of Polymer Materials (John Wiley & Sons, Inc., 2010), pp. 541–568.
  12. V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).
  13. D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).
  14. R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).
  15. R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).
  16. E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).
  17. F. R. S. Lord Rayleigh, “Investigations in optics, with special reference to the spectroscope,” Philos. Mag. Series 5 8, 261–274 (1879).
  18. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).
  19. P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).
  20. M. Born and E. Wolf, “Elements of the Theory of Diffraction,” in Principles of Optics, 4th ed. (Pergamon, Oxford, 1970), p. 464.
  21. J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
    [PubMed]
  22. V. V. Kotlyar, S. N. Khonina, A. A. Kovalev, V. A. Soifer, H. Elfstrom, and J. Turunen, “Diffraction of a plane, finite-radius wave by a spiral phase plate,” Opt. Lett. 31(11), 1597–1599 (2006).
    [PubMed]
  23. P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).
  24. J. Vila-Comamala, A. Sakdinawat, and M. Guizar-Sicairos, “Characterization of x-ray phase vortices by ptychographic coherent diffractive imaging,” Opt. Lett. 39(18), 5281–5284 (2014).
    [PubMed]
  25. Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).
  26. E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).
  27. R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

2017 (3)

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

2016 (2)

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

2015 (2)

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

2014 (1)

2013 (2)

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

2012 (1)

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

2011 (1)

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

2010 (1)

2009 (1)

2007 (1)

2006 (2)

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

V. V. Kotlyar, S. N. Khonina, A. A. Kovalev, V. A. Soifer, H. Elfstrom, and J. Turunen, “Diffraction of a plane, finite-radius wave by a spiral phase plate,” Opt. Lett. 31(11), 1597–1599 (2006).
[PubMed]

2003 (1)

T. Lippert and J. T. Dickinson, “Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions,” Chem. Rev. 103(2), 453–486 (2003).
[PubMed]

1999 (1)

N. Arnold and N. Bityurin, “Model for laser-induced thermal degradation and ablation of polymers,” Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. 68, 615–625 (1999).

1997 (1)

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

1995 (1)

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).

1982 (1)

1879 (1)

F. R. S. Lord Rayleigh, “Investigations in optics, with special reference to the spectroscope,” Philos. Mag. Series 5 8, 261–274 (1879).

1852 (1)

A. Beer, “Bestimmung der Absorption des rothen Lichtes in farbigen Flüssigkeiten,” Annalen der Physik und Chemie 86, 78–88 (1852).

Allaria, E.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Appio, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Aristov, V. V.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Arnold, N.

N. Arnold and N. Bityurin, “Model for laser-induced thermal degradation and ablation of polymers,” Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. 68, 615–625 (1999).

Badano, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Bajt, S.

Barletta, W. A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Barrett, R.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Bassanese, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Beer, A.

A. Beer, “Bestimmung der Absorption des rothen Lichtes in farbigen Flüssigkeiten,” Annalen der Physik und Chemie 86, 78–88 (1852).

Bergh, M.

Biedron, S. G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Bionta, R. M.

Bityurin, N.

N. Arnold and N. Bityurin, “Model for laser-induced thermal degradation and ablation of polymers,” Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. 68, 615–625 (1999).

Bohácek, P.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

Borga, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Brown, D. K.

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

Buitrago, E.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Bunk, O.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Burian, T.

Busetto, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Caleman, C.

Cammarata, M.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Casey, B. G.

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

Castronovol, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Chalupský, J.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Chapman, H.

Chapman, H. N.

Cihelka, J.

Cinquegrana, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Cleva, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Cocco, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Coppola, N.

Cornacchia, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Craievich, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Cudin, I.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Cumming, D. R. S.

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

D’Auria, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Dal Forno, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Danailov, M. B.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

David, C.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).

De Monte, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

De Ninno, G.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Delgiusto, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Demidovich, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Di Mitri, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Dickinson, J. T.

T. Lippert and J. T. Dickinson, “Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions,” Chem. Rev. 103(2), 453–486 (2003).
[PubMed]

Diviacco, B.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Döring, F.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Dubonos, S. V.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Dyachenko, R. Y.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Ekinci, Y.

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Elfstrom, H.

Fabris, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Fabris, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Fallica, R.

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Farahani, S. D.

Färm, E.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Fawley, W.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Ferianis, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Ferrari, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Ferry, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Foglia, L.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Fritz, D. M.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Froehlich, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Frommhold, A.

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Furlan, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Gaifullin, B. N.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Gaio, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Galasso, G.

Gaudin, J.

Gauthier, D.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Gautier, J.

Gelmetti, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Giannessi, L.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Giannini, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Gleeson, A.

Gobessi, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Gorelick, S.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Grenville, A.

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Grünert, J.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Guizar-Sicairos, M.

Gullikson, E. M.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).

Guzenko, V. A.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Hajdu, J.

Hájková, V.

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Harmand, M.

Hau-Riege, S. P.

Heimann, P. A.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).

Hoefnagels, R.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Hojeij, M.

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Ivanov, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Juha, L.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Jurek, M.

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Karantzoulis, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Khandaker, I. I.

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

Khonina, S. N.

Khorsand, A. R.

Kirchner, R.

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

Klinger, D.

Koptyaev, S.

Kotlyar, V. V.

Kovalev, A. A.

Krása, J.

Krzywinski, J.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Kuba, J.

Lippert, T.

T. Lippert and J. T. Dickinson, “Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions,” Chem. Rev. 103(2), 453–486 (2003).
[PubMed]

Liu, J. M.

Loch, R. A.

London, R. A.

Lonza, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Lord Rayleigh, F. R. S.

F. R. S. Lord Rayleigh, “Investigations in optics, with special reference to the spectroscope,” Philos. Mag. Series 5 8, 261–274 (1879).

Lutman, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Mahieu, B.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Mahne, N.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Manfredda, M.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Martin, K. P.

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

Masciovecchio, C.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Matveev, V. N.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Meeuwissen, M.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Meindl, J. D.

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

Messerschmidt, M.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Meyer-Ter-Vehn, J.

Milloch, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Milton, S. V.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Mincigrucci, R.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Minekawa, Y.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Mirian, N.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Moeller, S.

Moeller, S. P.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Mojarad, N. M.

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Murali, R.

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

Musardo, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Nagahara, S.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Nagai, T.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Nagasono, M.

Nagler, B.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Nakagawa, H.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Naruoka, T.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Nietubyc, R.

Nikolov, I.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Noe, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Oshima, A.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Özkan, C.

Papalazarou, E.

Parmigiani, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Pelka, J. B.

Penco, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Petronio, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Pivetta, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Polcar, T.

Precek, M.

Predonzani, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Principi, E.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Raith, H.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Rebernik Ribic, P.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Rey, G.

Ribic, P. R.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Rispens, G.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Ritala, M.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Robinson, A. P. G.

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Rösner, B.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Rossi, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Roussel, E.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Rowen, M.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Rumiz, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Rutishauser, S.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Sakdinawat, A.

Salom, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Samoylova, L.

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Saskl, K.

Scafuri, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Schift, H.

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

Schlotter, W. F.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Schulz, J.

Sebban, S.

Serpico, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Shiraishi, G.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Sigalotti, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Simoncig, A.

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Sinn, H.

Sobierajski, R.

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Soifer, V. A.

Sokolowski-Tinten, K.

Sovák, P.

Spampinati, S.

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Spezzani, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Stojanovic, N.

Störmer, M.

Stowers, J. K.

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

Svandrlik, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Svetina, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Svintsov, A. A.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Swiggers, M. L.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Tagawa, S.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Tazzari, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Terashita, Y.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Thoms, S.

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

Tiedtke, K.

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Toleikis, S.

T. Burian, V. Hájková, J. Chalupský, L. Vyšín, P. Boháček, M. Přeček, J. Wild, C. Özkan, N. Coppola, S. D. Farahani, J. Schulz, H. Sinn, T. Tschentscher, J. Gaudin, S. Bajt, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. N. Chapman, R. A. Loch, M. Jurek, R. Sobierajski, J. Krzywinski, S. Moeller, M. Harmand, G. Galasso, M. Nagasono, K. Saskl, P. Sovák, and L. Juha, “Soft x-ray free-electron laser induced damage to inorganic scintillators,” Opt. Mater. Express 5, 254–264 (2015).

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

Tronnier, A.

Trovo, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Tschentscher, T.

Turner, J. J.

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Turunen, J.

Umer, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Valentin, C.

Vascotto, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Velyhan, A.

Veronese, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Verspaget, C.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Vila-Comamala, J.

J. Vila-Comamala, A. Sakdinawat, and M. Guizar-Sicairos, “Characterization of x-ray phase vortices by ptychographic coherent diffractive imaging,” Opt. Lett. 39(18), 5281–5284 (2014).
[PubMed]

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Visintini, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Vockenhuber, M.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Vysín, L.

Vyšín, L.

Wabnitz, H.

Wang, L.

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Wild, J.

Yabashi, M.

Yildirim, O.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Yoshihara, K.

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

Zaccaria, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Zaitsev, S. I.

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

Zangrando, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Zangrando, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Zastrau, U.

Zeitoun, P.

Annalen der Physik und Chemie (1)

A. Beer, “Bestimmung der Absorption des rothen Lichtes in farbigen Flüssigkeiten,” Annalen der Physik und Chemie 86, 78–88 (1852).

Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. (1)

N. Arnold and N. Bityurin, “Model for laser-induced thermal degradation and ablation of polymers,” Appl. Phys., A Mater. Sci. Process. 68, 615–625 (1999).

Atom. Data Nucl. Data (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-Ray Interactions: Photoabsorption, Scattering, Transmission, and Reflection at E = 50-30,000 eV, Z = 1-92,” Atom. Data Nucl. Data 54, 181–342 (1993).

Chem. Rev. (1)

T. Lippert and J. T. Dickinson, “Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions,” Chem. Rev. 103(2), 453–486 (2003).
[PubMed]

J. Micro-Nanolith. Mem. (2)

E. Buitrago, S. Nagahara, O. Yildirim, H. Nakagawa, S. Tagawa, M. Meeuwissen, T. Nagai, T. Naruoka, C. Verspaget, R. Hoefnagels, G. Rispens, G. Shiraishi, Y. Terashita, Y. Minekawa, K. Yoshihara, A. Oshima, M. Vockenhuber, and Y. Ekinci, “Sensitivity enhancement of chemically amplified resists and performance study using extreme ultraviolet interference lithography,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033502 (2016).

R. Fallica, J. K. Stowers, A. Grenville, A. Frommhold, A. P. G. Robinson, and Y. Ekinci, “Dynamic absorption coefficients of chemically amplified resists and nonchemically amplified resists at extreme ultraviolet,” J. Micro-Nanolith. Mem. 15, 033506 (2016).

J. Vac. Sci. Technol. B (3)

V. V. Aristov, S. V. Dubonos, R. Y. Dyachenko, B. N. Gaifullin, V. N. Matveev, H. Raith, A. A. Svintsov, and S. I. Zaitsev, “Three‐dimensional design in electron‐beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2526–2528 (1995).

D. R. S. Cumming, I. I. Khandaker, S. Thoms, and B. G. Casey, “Efficient diffractive optics made by single-step electron beam lithography in solid PMMA,” J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2859–2863 (1997).

R. Murali, D. K. Brown, K. P. Martin, and J. D. Meindl, “Process optimization and proximity effect correction for gray scale e-beam lithography,” J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2936–2939 (2006).

Microelectron. Eng. (1)

R. Fallica, R. Kirchner, H. Schift, and Y. Ekinci, “High-resolution grayscale patterning using extreme ultraviolet interference lithography,” Microelectron. Eng. 177, 1–5 (2017).

Nat. Photonics (1)

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovol, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6, 699–704 (2012).

Opt. Express (4)

J. Chalupský, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hájková, S. Koptyaev, J. Krása, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-Ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, “Characteristics of focused soft X-ray free-electron laser beam determined by ablation of organic molecular solids,” Opt. Express 15(10), 6036–6043 (2007).
[PubMed]

J. Chalupský, J. Krzywinski, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, T. Burian, L. Vysín, J. Gaudin, A. Gleeson, M. Jurek, A. R. Khorsand, D. Klinger, H. Wabnitz, R. Sobierajski, M. Störmer, K. Tiedtke, and S. Toleikis, “Spot size characterization of focused non-Gaussian X-ray laser beams,” Opt. Express 18(26), 27836–27845 (2010).
[PubMed]

J. Chalupský, T. Burian, V. Hájková, L. Juha, T. Polcar, J. Gaudin, M. Nagasono, R. Sobierajski, M. Yabashi, and J. Krzywinski, “Fluence scan: an unexplored property of a laser beam,” Opt. Express 21(22), 26363–26375 (2013).
[PubMed]

J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vysín, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, “Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses,” Opt. Express 17(1), 208–217 (2009).
[PubMed]

Opt. Lett. (3)

Opt. Mater. Express (1)

Philos. Mag. Series 5 (1)

F. R. S. Lord Rayleigh, “Investigations in optics, with special reference to the spectroscope,” Philos. Mag. Series 5 8, 261–274 (1879).

Phys. Rev. Appl. (1)

J. Chalupský, P. Boháček, T. Burian, V. Hájková, S. P. Hau-Riege, P. A. Heimann, L. Juha, M. Messerschmidt, S. P. Moeller, B. Nagler, M. Rowen, W. F. Schlotter, M. L. Swiggers, J. J. Turner, and J. Krzywinski, “Imprinting a focused x-ray laser beam to measure its full spatial characteristics,” Phys. Rev. Appl. 4, 014004 (2015).

Phys. Rev. X (2)

P. Rebernik Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

P. R. Ribič, B. Rösner, D. Gauthier, E. Allaria, F. Döring, L. Foglia, L. Giannessi, N. Mahne, M. Manfredda, C. Masciovecchio, R. Mincigrucci, N. Mirian, E. Principi, E. Roussel, A. Simoncig, S. Spampinati, C. David, and G. De Ninno, “Extreme-Ultraviolet Vortices from a Free-Electron Laser,” Phys. Rev. X 7, 031036 (2017).

Proc. SPIE (1)

Y. Ekinci, M. Vockenhuber, M. Hojeij, L. Wang, and N. M. Mojarad, “Evaluation of EUV resist performance with interference lithography towards 11 nm half-pitch and beyond,” Proc. SPIE 8679, 867910 (2013).

Sci. Rep. (1)

C. David, S. Gorelick, S. Rutishauser, J. Krzywinski, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, O. Bunk, E. Färm, M. Ritala, M. Cammarata, D. M. Fritz, R. Barrett, L. Samoylova, J. Grünert, and H. Sinn, “Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates,” Sci. Rep. 1, 57 (2011).
[PubMed]

Other (2)

L. Urech and T. Lippert, “Photoablation of Polymer Materials,” in Photochemistry and Photophysics of Polymer Materials (John Wiley & Sons, Inc., 2010), pp. 541–568.

M. Born and E. Wolf, “Elements of the Theory of Diffraction,” in Principles of Optics, 4th ed. (Pergamon, Oxford, 1970), p. 464.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1 Scheme illustrating the impact of the intensity threshold on the peak-to-threshold value and the imprint depth. The colored areas indicate the material that received a dose above threshold. With decreasing threshold, additional material, which has been exposed to lower intensities, will also be removed. The imprint depth thus corresponds to the iso-dose surface which is revealed upon ablation or development.
Fig. 2
Fig. 2 (a) Atomic force micrograph of a non-thermally ablated single-shot imprint of the focal spot of a Fresnel zone plate in PMMA. The photon energy was 47.8 eV, corresponding to an attenuation length of 64.3 nm. (b) and (c) Reconstructed intensity above the ablation threshold as calculated from the Beer-Lambert law on a linear (b) and logarithmic (c) scale. (d) Numerically calculated intensity distribution above a threshold value of 2.3% of I max .
Fig. 3
Fig. 3 Intensity profiles of ablated imprints in PMMA obtained from individual shots with different pulse energies. As a natural property of an XFEL, the number of incident photons fluctuates from shot to shot. The values shown in the inset show the average pulse energies at the different attenuator settings. The shape of the profile corresponds to the theoretical intensity distribution of a Fresnel zone plate up to p = 20. At higher peak intensities, a slight dip evolves until the ablation imprint center becomes nonlinearly deeper above p = 40, indicating the inception of thermal ablation. The cross section of the imprint shown in Fig. 2 is indicated.
Fig. 4
Fig. 4 (a) Atomic force micrographs of the single-shot imprint shown in Fig. 2 as ablated, and after two development steps. (b) 3-D cuts through the AFM images. (c) Cross section through the intensity profiles of the ablated imprint (black), and after development in 1:3 and 1:1 mixtures of MIBK:IPA (red and blue). The first minimum is found at ± 2.00 µm, and the peak-to-threshold ratios are determined as 30, 61, and 345.
Fig. 5
Fig. 5 (a) Schematic illustration of a conventional Fresnel zone plate, its numerically simulated diffraction pattern, and its experimentally determined intensity distribution in the focal plane, as reconstructed from a developed imprint in PMMA. (b) Pattern, simulated and reconstructed intensity distribution of a spiral zone plate. The torus shape of the beam profile in the focal plane is clearly visible, as well as the distinct appearance of the side maxima. All intensity distributions are shown on a logarithmic scale.

Equations (4)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

I 0 ( x,y ) I th = e ( d(x,y) l at ) ,
p= I max I th
I(r)= I max ( 2dr π ) 2 [ J 1 ( πr dr )/r ] 2
I(r,θ) | (i) m+1 exp(imθ) (m+2)m! ( k R 2 f ) ( kRr 2f ) m F 1 2 [ m+2 2 , m+4 2 ,m+1; ( kRr 2f ) 2 ] | 2

Metrics