Abstract

Germanium is a material of high interest for mid-infrared (MIR) integrated photonics due to its complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS) compatibility and its wide transparency window covering the 2–15 μm spectral region exceeding the 4 and 8 μm limit of the silicon-on-insulator platform and Si material, respectively. In this Letter, we report suspended germanium waveguides operating at a wavelength of 7.67 μm with a propagation loss of 2.6±0.3  dB/cm. To the best of our knowledge, this is the first demonstration of low-loss suspended germanium waveguides at such a long wavelength. Suspension of the waveguide is achieved by defining holes alongside the core providing access to the buried oxide layer and the underlying Si layer so that they can be wet etched using hydrofluoric acid and tetramethylammonium hydroxide, respectively. Our MIR waveguides create a new path toward long wavelength sensing in the fingerprint region.

Published by The Optical Society under the terms of the Creative Commons Attribution 4.0 License. Further distribution of this work must maintain attribution to the author(s) and the published article's title, journal citation, and DOI.

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Group IV mid-infrared photonics [Invited]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y.X. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed
Opt. Mater. Express 8(8) 2276-2286 (2018)

Silicon photonic platforms for mid-infrared applications [Invited]

Ting Hu, Bowei Dong, Xianshu Luo, Tsung-Yang Liow, Junfeng Song, Chengkuo Lee, and Guo-Qiang Lo
Photon. Res. 5(5) 417-430 (2017)

Suspended silicon waveguides for long-wave infrared wavelengths

J. Soler Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Moñux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich
Opt. Lett. 43(4) 795-798 (2018)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. M. Sieger and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 5562 (2016).
    [Crossref]
  2. M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
    [Crossref]
  3. R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
    [Crossref]
  4. National Institute of Standards and Technology, “NIST Standard Reference Data Program,” 2009, http://webbook.nist.gov/cgi/cbook.cgi?ID=C7446095&Type=IR-SPEC&Index=0# .
  5. R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
    [Crossref]
  6. C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
    [Crossref]
  7. R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
    [Crossref]
  8. R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
    [Crossref]
  9. G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
    [Crossref]
  10. R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
    [Crossref]
  11. T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
    [Crossref]
  12. J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
    [Crossref]
  13. J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
    [Crossref]
  14. W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
    [Crossref]
  15. D. Chandler-Horowitz and P. M. Amirtharaj, J. Appl. Phys. 97, 123526 (2005).
    [Crossref]
  16. R. Soref, Nat. Photonics 4, 495 (2010).
    [Crossref]
  17. M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
    [Crossref]
  18. D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
    [Crossref]
  19. B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
    [Crossref]
  20. U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
    [Crossref]
  21. W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
    [Crossref]
  22. J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
    [Crossref]
  23. J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
    [Crossref]
  24. G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
    [Crossref]
  25. J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
    [Crossref]
  26. M. Krishna Murthy and H. Hill, J. Am. Ceram. Soc. 48, 109 (1965).
    [Crossref]
  27. Tydex, “Tydex germanium data sheet,” http://www.tydexoptics.com/pdf/Germanium.pdf .
  28. D. E. Hagan and A. P. Knights, J. Opt. 19, 025801 (2017).
    [Crossref]
  29. University of Southampton, https://doi.org/10.5258/SOTON/D0602 .

2018 (5)

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

2017 (3)

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

D. E. Hagan and A. P. Knights, J. Opt. 19, 025801 (2017).
[Crossref]

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

2016 (8)

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
[Crossref]

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

M. Sieger and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 5562 (2016).
[Crossref]

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

2011 (2)

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

2010 (1)

R. Soref, Nat. Photonics 4, 495 (2010).
[Crossref]

2008 (1)

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

2007 (1)

R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
[Crossref]

2006 (2)

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[Crossref]

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

2005 (1)

D. Chandler-Horowitz and P. M. Amirtharaj, J. Appl. Phys. 97, 123526 (2005).
[Crossref]

2002 (1)

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

1965 (1)

M. Krishna Murthy and H. Hill, J. Am. Ceram. Soc. 48, 109 (1965).
[Crossref]

Alonso-Ramos, C.

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

Amirtharaj, P. M.

D. Chandler-Horowitz and P. M. Amirtharaj, J. Appl. Phys. 97, 123526 (2005).
[Crossref]

Anantha, P.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Ang, K.-W.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Baillargeon, J. N.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Ballabio, A.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Balram, K. C.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Bao, S.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Bauer, C.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Bethea, C.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Bettiol, A. A.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Blaser, S.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Bouville, D.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Braunschweig, B.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Breiter, R.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Brongersma, M. L.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Buchwald, W. R.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[Crossref]

Burgmeier, J.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Cabanski, W.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Cao, W.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Capasso, F.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Carpenter, L. G.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Chandler-Horowitz, D.

D. Chandler-Horowitz and P. M. Amirtharaj, J. Appl. Phys. 97, 123526 (2005).
[Crossref]

Chang, C.-Y.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

Cheben, P.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Cheng, Y.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Cheng, Z.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Cho, A. Y.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Emelett, S. J.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[Crossref]

Fleissner, J.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Frigerio, J.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Gardes, F. Y.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Gawith, C. B. E.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Gmachl, C.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Goda, K.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

Godejohann, M.

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Guo, X.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Haas, J.

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Hagan, D. E.

D. E. Hagan and A. P. Knights, J. Opt. 19, 025801 (2017).
[Crossref]

Halir, R.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Hill, H.

M. Krishna Murthy and H. Hill, J. Am. Ceram. Soc. 48, 109 (1965).
[Crossref]

Holl, G.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Howe, R. T.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Hu, T.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Hu, Y.

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Hvozdara, L.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Hwang, H. Y.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Isella, G.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Jain, J. R.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Jetter, M.

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Jonasz, M.

R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
[Crossref]

Kang, J.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
[Crossref]

Katzir, A.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Khokhar, A. Z.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Kitamura, R.

R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
[Crossref]

Knights, A. P.

D. E. Hagan and A. P. Knights, J. Opt. 19, 025801 (2017).
[Crossref]

Kozak, D. A.

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

Krishna Murthy, M.

M. Krishna Murthy and H. Hill, J. Am. Ceram. Soc. 48, 109 (1965).
[Crossref]

Lee, K. H.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Li, T.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Li, W.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Li, W.-W.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Lim, A. E.-J.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Littlejohns, C.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Littlejohns, C. G.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Liu, Q.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Lo, P. G.-Q.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Lu, R.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Ly-Gagnon, D.-S.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Mahon, R.

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

Marris-Morini, D.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Martini, R.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Mashanovich, G. Z.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Michler, P.

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Miller, D. A. B.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Miloševic, M. M.

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Mittal, V.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Mizaikoff, B.

M. Sieger and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 5562 (2016).
[Crossref]

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Molina-Fernández, I.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Müller, A.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Murugan, G. S.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Nedeljkovic, M.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Ortega-Monux, A.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Osman, A.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Owens, N.

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Paiella, R.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Passaro, V. M. N.

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

Penades, J. S.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

Penadés, J. S.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Pilon, L.

R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
[Crossref]

Qi, Y.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Qu, Z.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

Rabinovich, W. S.

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

Raichlin, Y.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Ramirez, J. M.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Reed, G. T.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Rehm, R.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Reid, L.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Roux, X. L.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Sánchez-Postigo, A.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

Schade, W.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Schmitz, J.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Set, S. Y.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

Sharma, A.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Sheng, G.-P.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Sieger, M.

M. Sieger and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 5562 (2016).
[Crossref]

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Sivco, D. L.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Soler-Penades, J.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Soref, R.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

R. Soref, Nat. Photonics 4, 495 (2010).
[Crossref]

Soref, R. A.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[Crossref]

Stievater, T. H.

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

Stirling, C. J.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Sun, X.

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Takagi, S.

J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
[Crossref]

Takenaka, M.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
[Crossref]

Tan, C. S.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Teo, E. J.

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Thomson, D. J.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Troia, B.

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

Tsang, H. K.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Vakarin, V.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Vanga, S. K.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Vivien, L.

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

Walther, M.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Wang, H.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Wangüemert-Pérez, J. G.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

White, J. S.

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Whittaker, E. A.

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

Wilkinson, J. S.

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

Willer, U.

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Wu, X.

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Wu, Y.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Xiao, T.-H.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

Xiong, B.

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Xu, Y.

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

Younis, U.

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

Yu, H.-Q.

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Zhang, L.

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Zhao, Z.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Zhou, W.

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Zhou, Z.

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

Zhu, B.

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

Ziegler, J.

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

Anal. Chem. (2)

M. Sieger and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 5562 (2016).
[Crossref]

M. Sieger, J. Haas, M. Jetter, P. Michler, M. Godejohann, and B. Mizaikoff, Anal. Chem. 88, 2558 (2016).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

R. Kitamura, L. Pilon, and M. Jonasz, Appl. Opt. 46, 8118 (2007).
[Crossref]

Appl. Phys. B (1)

C. Bauer, A. Sharma, U. Willer, J. Burgmeier, B. Braunschweig, W. Schade, S. Blaser, L. Hvozdara, A. Müller, and G. Holl, Appl. Phys. B 92, 327 (2008).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (1)

W. Li, P. Anantha, S. Bao, K. H. Lee, X. Guo, T. Hu, L. Zhang, H. Wang, R. Soref, and C. S. Tan, Appl. Phys. Lett. 109, 241101 (2016).
[Crossref]

Electron. Lett. (2)

R. Rehm, M. Walther, J. Schmitz, J. Fleissner, J. Ziegler, W. Cabanski, and R. Breiter, Electron. Lett. 42, 577 (2006).
[Crossref]

R. Martini, C. Bethea, F. Capasso, C. Gmachl, R. Paiella, E. A. Whittaker, H. Y. Hwang, D. L. Sivco, J. N. Baillargeon, and A. Y. Cho, Electron. Lett. 38, 181 (2002).
[Crossref]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (1)

D. A. Kozak, T. H. Stievater, R. Mahon, and W. S. Rabinovich, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200804 (2018).
[Crossref]

J. Am. Ceram. Soc. (1)

M. Krishna Murthy and H. Hill, J. Am. Ceram. Soc. 48, 109 (1965).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (1)

D. Chandler-Horowitz and P. M. Amirtharaj, J. Appl. Phys. 97, 123526 (2005).
[Crossref]

J. Opt. (1)

D. E. Hagan and A. P. Knights, J. Opt. 19, 025801 (2017).
[Crossref]

J. Opt. A (1)

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[Crossref]

Nat. Photonics (1)

R. Soref, Nat. Photonics 4, 495 (2010).
[Crossref]

Nat. Protoc. (1)

R. Lu, W.-W. Li, B. Mizaikoff, A. Katzir, Y. Raichlin, G.-P. Sheng, and H.-Q. Yu, Nat. Protoc. 11, 377 (2016).
[Crossref]

Opt. Express (6)

U. Younis, S. K. Vanga, A. E.-J. Lim, P. G.-Q. Lo, A. A. Bettiol, and K.-W. Ang, Opt. Express 24, 11987 (2016).
[Crossref]

J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi, Opt. Express 24, 11855 (2016).
[Crossref]

J. M. Ramirez, Q. Liu, V. Vakarin, J. Frigerio, A. Ballabio, X. L. Roux, D. Bouville, L. Vivien, G. Isella, and D. Marris-Morini, Opt. Express 26, 870 (2018).
[Crossref]

M. Nedeljkovic, J. S. Penades, V. Mittal, G. S. Murugan, A. Z. Khokhar, C. Littlejohns, L. G. Carpenter, C. B. E. Gawith, J. S. Wilkinson, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 25, 27431 (2017).
[Crossref]

J. S. Penadés, A. Ortega-Monux, M. Nedeljkovic, J. G. Wangüemert-Pérez, R. Halir, A. Z. Khokhar, C. Alonso-Ramos, Z. Qu, I. Molina-Fernández, P. Cheben, and G. Z. Mashanovich, Opt. Express 24, 22908 (2016).
[Crossref]

G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
[Crossref]

Opt. Lett. (4)

J. S. Penadés, A. Sánchez-Postigo, M. Nedeljkovic, A. Ortega-Monux, J. G. Wangüemert-Pérez, Y. Xu, R. Halir, Z. Qu, A. Z. Khokhar, A. Osman, W. Cao, C. G. Littlejohns, P. Cheben, I. Molina-Fernández, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 43, 795 (2018).
[Crossref]

W. Zhou, Z. Cheng, X. Wu, B. Zhu, X. Sun, and H. K. Tsang, Opt. Lett. 42, 1245 (2017).
[Crossref]

T.-H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C.-Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda, Opt. Lett. 43, 2885 (2018).
[Crossref]

B. Troia, J. S. Penades, A. Z. Khokhar, M. Nedeljkovic, C. Alonso-Ramos, V. M. N. Passaro, and G. Z. Mashanovich, Opt. Lett. 41, 610 (2016).
[Crossref]

Opt. Mater. Express (2)

G. Z. Mashanovich, M. Nedeljkovic, J. Soler-Penades, Z. Qu, W. Cao, A. Osman, Y. Wu, C. J. Stirling, Y. Qi, Y. Cheng, L. Reid, C. G. Littlejohns, J. Kang, Z. Zhao, M. Takenaka, T. Li, Z. Zhou, F. Y. Gardes, D. J. Thomson, and G. T. Reed, Opt. Mater. Express 8, 2276 (2018).
[Crossref]

J. R. Jain, D.-S. Ly-Gagnon, K. C. Balram, J. S. White, M. L. Brongersma, D. A. B. Miller, and R. T. Howe, Opt. Mater. Express 1, 1121 (2011).
[Crossref]

Other (3)

Tydex, “Tydex germanium data sheet,” http://www.tydexoptics.com/pdf/Germanium.pdf .

University of Southampton, https://doi.org/10.5258/SOTON/D0602 .

National Institute of Standards and Technology, “NIST Standard Reference Data Program,” 2009, http://webbook.nist.gov/cgi/cbook.cgi?ID=C7446095&Type=IR-SPEC&Index=0# .

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1.
Fig. 1. 3D schematic [(a) overview and (b) front view] of the proposed suspended germanium waveguide.
Fig. 2.
Fig. 2. Cross section of the simulated fundamental TE mode at λ=7.67  μm.
Fig. 3.
Fig. 3. Substrate leakage loss as a function of the air gap for the waveguide dimensions in Table 1.
Fig. 4.
Fig. 4. Fabrication process flow of the suspended Ge waveguides. (a) Initial Ge-on-SOI platform, (b) waveguide definition, (c) hole patterning and exposure of the BOX, (d) wet etching using HF and TMAH.
Fig. 5.
Fig. 5. SEM images of the fabricated suspended Ge waveguides. (a) Cleaved suspended Ge waveguide facet showing the complete local removal of the BOX and Si layers. (b) Zoomed-in image on the edges of the wet etched areas. It can be seen that the Si substrate has been etched by 440 nm. (c) Top view of a 2D grating coupler (non-suspended). (d) Top view of a rib waveguide with holes alongside it.
Fig. 6.
Fig. 6. Cut-back loss experimental results at 7.67 μm wavelength for suspended Ge waveguides.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1. Designed Dimensions of the Suspended Ge Waveguides at λ0=7.67  μm